PI (Physik Instrumente)線性促動(dòng)器原廠供貨

長行程納米定位，具有高力，PiezoWalk原理

應(yīng)用領(lǐng)域

?工業(yè)級精度定位

?半導(dǎo)體技術(shù)

?半導(dǎo)體測試

?晶圓檢測

?平版印刷術(shù)

?納米壓印

?納米測量

?強(qiáng)磁場和真空中運(yùn)動(dòng)

采用PiezoWalk步進(jìn)驅(qū)動(dòng)實(shí)現(xiàn)納米精度和大進(jìn)給力

數(shù)個(gè)壓電陶瓷促動(dòng)器在

PiezoWalk步進(jìn)驅(qū)動(dòng)中執(zhí)行步進(jìn)運(yùn)動(dòng)，將動(dòng)輪向前推進(jìn)。促動(dòng)器控制允許以遠(yuǎn)低于一納米的分

辨率進(jìn)行小步進(jìn)和推進(jìn)運(yùn)動(dòng)。

增量

編碼器用于高精度位置測量

非接觸式光學(xué)

編碼器以*的精度直接在平臺(tái)上測量位置。非線性效應(yīng)、機(jī)械作用或彈性形變不會(huì)對測量造成影響。

適用于復(fù)雜真空應(yīng)用PI的壓電電機(jī)原則上是真空兼容的，并且適合在強(qiáng)磁場中運(yùn)行。驅(qū)動(dòng)器的特殊版本適于此目的。壓電陶瓷步進(jìn)驅(qū)動(dòng)器還可用于有較強(qiáng)紫外線輻射的無塵室或環(huán)境中。

規(guī)格

N-216.101 / N

-216.1A1N

-216.201 / N

-216.2A1

公差N-216NEXLINE

線性促動(dòng)器

?力量生成達(dá)600牛

?保持力達(dá)800牛

?行程20毫米

?帶分辨率的集成式直接測量線性編碼器5納米

訂購信息

Physik Instrumente (PI)N-216.101

NEXLINE壓電陶瓷步進(jìn)高負(fù)載促動(dòng)器，20毫米，300牛，開環(huán)

Physik Instrumente (PI)N-216.1A1

NEXLINE壓電陶瓷步進(jìn)高負(fù)載促動(dòng)器，20毫米，300牛，線性編碼器，5納米分辨率

Physik Instrumente (PI)N-216.201

NEXLINE壓電陶瓷步進(jìn)高負(fù)載促動(dòng)器，20毫米，600牛，開環(huán)

Physik Instrumente (PI)N-216.2A1

NEXLINE壓電陶瓷步進(jìn)高負(fù)載促動(dòng)器，20毫米，600牛，線性編碼器，5納米分辨率

PI (Physik Instrumente)線性促動(dòng)器原廠供貨